NOVAWEB Serie

Rolle-zu-Rolle-Vakuumbeschichtungsanlage

Die innovative Hochvakuum-Beschichtungsplattform der HS-GROUP, bekannt als NOVAWEB, überbrückt effektiv die Herausforderung zwischen Produktivität und Anpassungsfähigkeit. Außerdem erfüllt sie die Anforderungen sowohl des aktuellen als auch des zukünftigen Marktes.

Die NOVAWEB ist die ideale Wahl sowohl für Produktionszwecke als auch für Forschungs- und Entwicklungsprojekte (F&E). Ihr bemerkenswertes Potenzial liegt in ihrer Fähigkeit, bis zu sechs Doppelrohrmagnetrons aufzunehmen und eine breite Palette von in-situ Messsensoren zu integrieren. Diese einzigartige Konfiguration verleiht der Maschine außergewöhnliche Produktivität in Fertigungskontexten, während sie gleichzeitig bemerkenswerte Flexibilität und Vielseitigkeit bietet, wenn sie für F&E-Zwecke eingesetzt wird.

Diese Vielseitigkeit positioniert die NOVAWEB als die primäre Option für Anwendungen wie ITO-Filme, flexible Leiterplatten (FPCB), Low-E-Beschichtungen und Smart Glass. Gestützt auf unsere eigenen Rohrmagnetrons dient die NOVAWEB-Plattform als solide Grundlage dafür, eine hohe Produktivität zu erreichen.

Darüber hinaus ermöglicht die optionale Gastrennungsfähigkeit der NOVAWEB zwischen benachbarten Prozessabschnitten die Abscheidung einer umfangreichen Palette denkbarer Schichtkombinationen aus Metallen und Dielektrika in einem Durchgang.

Neben ihrer Fähigkeit, sowohl reaktive als auch nichtreaktive Sputterprozesse auszuführen, kann die NOVAWEB mit verschiedenen In-situ-Sensoren ausgestattet werden. Diese Sensoren ermöglichen eine kontinuierliche und präzise Überwachung gewünschter physikalischer Schicht-eigenschaften wie Widerstandsfähigkeit, Reflektion und Transmission und verbessern die allgemeine Steuerung und Optimierung des Beschichtungsprozesses.