NANOLAB Serie

Vakuumbeschichtungsanlage für Labor-Anwendungen

Die NANOLAB-Serie wurde speziell für den Einsatz in Forschung und Entwicklung konzipiert – ideal für Universitäten, technische Institute sowie industrielle Entwicklungsabteilungen. Dank ihres flexiblen Aufbaus erfüllt sie eine Vielzahl technologischer Anforderungen und eignet sich optimal zur Entwicklung innovativer Beschichtungstechnologien, für Forschungszwecke sowie für die zuverlässige und reproduzierbare Beschichtung kleiner Produktionsmengen.
Das modulare Design der NANOLAB-Anlagen erlaubt die individuelle Auswahl und Kombination verschiedenster Beschichtungstechnologien und Prozessbedingungen. So lassen sich maßgeschneiderte Lösungen für spezifische Anwendungen realisieren.
Integrierbare Technologien:

• Sputterverfahren
  • Einzelne Sputterquelle
  • Mehrfache Sputterquellen
  • Co-Sputtern
  • Konvokales Sputtern
• Substratheizung
• Thermisches Verdampfen
  • Verdampfung aus Schiffchen
  • Verdampfung aus Wendeln
  • Verdampfung mittels Elektronenstrahlkanone

•    PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)
•    Plasmastrahlätzen

Die NANOLAB-Systeme lassen sich flexibel konfigurieren und bieten eine leistungsstarke Plattform für fortschrittliche Dünnschichtprozesse unter Laborbedingungen.